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2019/8/30 16:59

关系缓和了?日本批准对韩国出口氟化氢,三星明年初就能用上

集微网  木棉

今日,据外媒报道,日本已批准向三星出口氟化氢,氟化氢是蚀刻和清洗晶圆的关键材料,三星能在明年年初用到这种材料。

据了解,这是自日本政府7月初对韩加强出口管制以来,氟化氢首次获得出口许可。此次进口方是韩国三星电子,该公司7月4日前后提出申请。

韩国产业通商资源部相关人士当日表示,已确认日本政府加强出口管制后首次批准出口氟化氢。

高纯度的电子级氟化氢是氟精细化学品的一种,在半导体制造工艺中主要用于去除膜沉积后粘附在化学气相沉积炉内的不必要化学物质、等离子刻蚀、光刻?#21644;?#26696;化之后的蚀刻细槽或孔等流程。

7月4日起,日本政府将高纯度氟化氢、氟化聚酰?#21069;貳?#20809;刻胶等转为特别许可名单,加强管制半导体、显示器等核心原料出口。原本同一出口来源只需3年审查一次,但日本新政策出台后,这些原料每次出口都需要取得许可,加上审核流程比过往复杂,审核时间最长达90天。

8月初的时候,日本政府决定向韩国出口一些半导体制造材料,当时获得批准的是一种名为EUV光刻胶的材料,这对于三星的先进?#26174;?#33455;片制造生产至关重要。

据韩媒《edaily》8月29日的报道,日本财务省于29日公布7月份贸易统计,其中氟化氢对韩国出口量为479吨(t),和6月相比,骤减83.7%。

日媒《朝日新闻》指出,虽然无法得知整体氟化氢中,有多少高纯度氟化氢(氟含量占3成以上)是受日本出口限制影响,但该衰退趋势很可能是受日本强化出口限制影响。

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